簡易檢索 / 檢索結果

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    沉積氧化鋅鋁薄膜於自組裝單分子薄膜修飾之玻璃基板之研究
    • 化學工程系 /100/ 碩士
    • 研究生： 何雨璇   指導教授： 戴龑
    • 本論文利用射頻電漿濺鍍沉積氧化鋅鋁(AZO)薄膜於自組裝單分子層薄膜(self-assembled monolayer, SAM)修飾後的玻璃基板，一般而言，低溫製程環境下所沉積出來的AZO薄膜不具…
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